박막 압전 소자를 활용, 그리고 다양한 사항을 충족하기 위해 장착으로 당겨 웨이퍼로부터, 제품 설계 및 제조 프로세스를 통합 한 업계 최초의 * 파운드리 사업을 구현 - 마이크로 전기 기계 시스템 - ROHM는 최근 MEMS위한 프로세스를 설립했다 고객의 요구.

압력이인가 될 때 전압을 발생의 고유 특성을 갖고, 압전 소자는, 적외선 카메라 및 표준 오토 포커스 시스템을 종래의 잉크젯 프린트 헤드에서, 전자 장치의 다양한 종류에 통합된다.

일반적으로 가속도계와 자이로 스코프에 사용되는 MEMS 기술을 가진 이들 요소 결합이 가능한 설계를 단순화하고 성능을 향상, 비용 절감, 및 더 큰 최종 제품의 소형화에 기여하고, 처리 제어기의 크기를 저감 할 수있다. 또한, 대기 중에 매우 적은 전력을 필요로 압전 소자 자체의 에너지 절약 특성은 증가 된 관심을 모으고있다 - 특히 큰 성장이 예상되는 센서 시장.

ROHM은 이미 산업용 잉크젯 프린터, 센서, 착용 할 수있는 장치와 같은 성장 시장을 수용하기 위해 압전 MEMS 고객의 요구 사항에 따라 제품을 점차적으로 우리의 생산 라인을 확대하고 공동 개발을 실시하기 시작했다. ROHM은 소형화 및 에너지 절감을 달성하기 위해 MEMS 기술의 압전 소자를 통합하는 것이다 앞으로 계속 간다.

그러나, 압전 MEMS, 높은 압전 특성을 정밀 가공 및 미세 압전 소자의 성형을 가지고 박막 증착 장치에서 생성 실현하기 어렵다. 또한, 고정밀도 처리가 블록 MEMS 구동에 필요하고, 추가적인 기술 및 전문 - 새로운 기술의 배양과 함께이 - 차세대 애플리케이션 및 신흥 시장을 지원하기 위해 필요하다.

이러한 과제에 대응하여, ROHM은 박막 압전 소자의 연구에 종사하고있다. 및 포함 전체 ROHM 그룹의 집단 생산 기술을 결합하여 만든 개발의 시너지 효과를 활용하여 박막 압전 소자에 대한 평가 측정 방법에 고베 대학에서 공학 대학원 교수 Isaku 칸노의 결과에 따라 장기 기억 재배 ROHM의 강유전체 기술은 LAPIS Semiconductor의 고감도 MEMS / 장착 기술, 설치된 Kionix의 MEMS 소형화 기술, 우리는 LAPIS 반도체 미야자키에서 제조 공정을 확립하고 시장 및 애플리케이션의 다양한 최적화 압전 MEMS를 제공 할 수 있었다 .

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